1000度高温多晶硅微波干燥设备

发布人:发布时间:2017-11-23浏览次数:200次

多晶硅微波干燥设备,广泛适用半导体多晶硅干燥。

多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。利用价值:从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)

1、油脂:在多晶硅生产过程中,油分子对多晶硅的危害十分严重。实际证明,整个工艺系统几ppm的油含量就可能造成多晶硅反应速度减慢,产量降低,甚至硅反应停止。因此,多晶硅设备的脱脂工艺尤为重要。

2、水分:水中含有大量的氯离子,氯离子对多晶硅的反应十分敏感。设备及系统干燥工艺很关键。

3、氯离子残留:水和其他溶液在设备表面残留的氯离子对多晶硅影响十分大。因此,在清洗后对设备进行纯水冲洗工艺十分重要。

4、氧化物、灰尘其他杂质:其他污垢的存在,对多晶硅的生产影响也很大。因此,在设备清洗过程中,采用酸洗工艺对其他污垢进行清洗十分必要。

多晶硅加工生产中,最关见的是用纯水清洗,干燥。恰恰微波设备能满足要求,加热速度快,脱水快。可以提高效率,是电加热干燥的几十倍,没有二次污染,可以保证多晶硅的纯度,有利于后续加工质量保证。微波干燥设备为了满足多晶硅高温干燥,输送带选用了耐1000度高温的材料,保证了干燥顺利完成。
微波干燥设备整体外形结构紧凑、美观、流畅,占地面积小。针对该物料的物理特性,设计合理的箱体尺寸,使加热器内微波功率密度均匀,微波自上而下宽带馈入,使物料加热更加均匀。采用全新的微波烘干技术与设备。能够实现物料的无污染和均匀干燥,同时可大幅降低干燥温度,此外干燥速度通常提高数倍以上,生产效率大幅提高,干燥能耗通常降低50%以上,最终实现安全洁净高效生产。

微波干燥特点和机理不同于一般的干燥技术,概括起来有以下特点:

1) 微波干燥过程中的干燥层首先在物料内部形成, 然后由里层向外扩展。原因是物料在微波条件下内外同时受热,内部温度高于外部,水蒸气由内向表层排出,物料内部先形成干燥层;常规加热容易在物料外部先形成一层干燥硬壳, 这不仅会影响物料的品质和外观,还会降低干燥速度。而微波干燥从根本上避免了以上情况的发生。

2) 微波干燥节能。用远红外线和蒸汽能源进行干燥,其能源利用率不足50%,而用微波作为能源的利用率可达75%以上,比远红外和蒸气干燥能耗降低25%以上。

采用;独有的微波源及其控制技术,确保微波源系统在各种复杂环境下长期连续稳定工作,其中磁控管的正常使用寿命≥1年;

采用按标准特制的高效微波传输系统,对物料进行均匀馈能,确保物料干燥均匀,有效避免物料局部温度过高的现象;

采用独创的数理模型,结合干燥工艺要求进行科学的腔体设计,确保脱水效率,同时避

免腔体内“热点”、“打火”、“溅料”、“烧带”等不良现象的发生;

主要性能及技术参数

根据客户需要量身订制;

控制传输带工作温度≤200oC;

微波频率:2.45GHz±25MHz;

触摸屏显示、控制,具自动、手动双重操作功能;

采用红外湿度测量仪,对加热箱内部温、湿度进行测定,并实现全程控制;

微波泄漏量:<2mw/cm2。


1、 输入电源:三相五线380V±10% 50Hz±1%
2、微波输出功率:48kW(可调)
3、微波频率:2450MHz±50Hz
4、额定输入视在功率:≤69kVA
5、进出料口高度:50mm
6、传输带宽度:500mm
7、传输速度:0.1~5m/min
8、外形尺寸(长×宽×高):约12700×665×1668mm
9、工作环境:0~40℃、相对湿度≤80%
10、微波箱体数量:8个箱体
11、符合GB 10436-1989作业场所微波辐射卫生标准
13、符合GB/5226.1-2002机械安全 机械电气设备


微波功率

KW

脱水能力

KG/H

视在功率

KVA

传送带宽度MM

微波加热箱体数量

外型尺寸

MM

SDG-12

12

6-12

17

500

3

7200×665×1668

2、

SDG-20

20

10-20

28

500

4

8300×665×1668

3、

SDG-30

30

15-30

43

500

6

10500×665×1668

4、

SDG-40

40

20-40

57

500

8

12700×665×1668

5、

SDG-50

50

25-50

72

1000

5

9400×1700×1668

6、

SDG-60

60

30-60

86

1000

6

10500×1700×1668

7、

SDG-70

70

35-70

110

1000

7

11600×1700×1668

8、

SDG-80

80

40-80

115

1000

8

12700×1700×1668

9、

SDG-100

100

50-100

144

1000

10

14900×1700×1668

10、

SDG-150

150

75-150

217

1500

10

14900×1240×1668

11、


折叠主要应用领域

高水份粘稠性物料的干燥;

粉状、颗粒状、片状、条状、板状、小型坯件等物料的干燥;

催化剂的活化再生;

污泥等固体废弃物的干燥、杀菌、消毒;

食品、药品、原料的干燥、杀菌、消毒;

大米、面粉的干燥、杀虫、防霉处理;

茶叶的杀青、提香;

高分子材料的固化;